brooks gf125c,0190-53892-02

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产品概述

Brooks GF125C 气体质量流量控制器（型号：0190-53892-02）是一款高精度工业级流量控制设备，专为需要精确气体流量测量与控制的场景设计。产品采用金属外壳，具备优异的稳定性和可靠性，适用于半导体制造、科研实验室、化工流程等对气体流量精度要求严苛的领域。

产品特点

高精度控制：校准精度达1% of set point，确保流量控制的准确性。
宽量程覆盖：量程为1000SCCM，支持5%至100%量程范围内的精确测量，对应流量值从123.909 SCCM至2597.50 SCCM。
稳定性能：工作压力最高可达400.00 PSIG，过压保护为2%FS，保障设备安全运行。
氮气测试兼容：N2测试压力为35 PSIG，适用于氮气等常见气体的流量控制。

技术参数

型号：GF125C, 0190-53892-02
量程（RANGE）：1000SCCM
最大压力（MAX PRESSURE）：400.00 PSIG
气体类型（GAS）：1121
过压保护（OVERPRESSURE）：2%FS
阀门类型（VALVE）：NC（常闭）
校准精度（CAL ACCURACY）：1% of set point
测试压力（TEST PRESSURE）：35 PSIG（N2）
流量控制点：5%:123.909 SCCM, 10%:260.354 SCCM, 25%:651.544 SCCM, 50%:1297.77 SCCM, 75%:1946.36 SCCM, 100%:2597.50 SCCM

应用场景

该流量控制器广泛应用于半导体晶圆制造、薄膜沉积、气体分析、化学气相沉积（CVD）、实验室研发等领域，可实现对工艺气体的实时精确控制，提升生产过程的稳定性和产品质量。

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