Brooks 002-7391-08 机器人晶圆预对准器产品说明
Brooks 002-7391-08 机器人晶圆预对准器是布鲁克斯自动化(Brooks Automation)推出的一款专为半导体制造行业设计的精密自动化设备,主要用于晶圆加工前的精确对准,确保后续工艺的准确性和高效性。
产品特点
- 高精度对准:采用先进的对准技术,确保晶圆在处理过程中的位置精度,满足半导体制造对微小误差的严格要求。
- 自动化集成:可无缝集成到半导体生产线的自动化系统中,提升整体生产效率,减少人工干预。
- 可靠包装:产品采用透明塑料袋密封,并置于定制绿色泡沫包装盒内,有效保护设备在运输和存储过程中免受损坏。
技术参数
- 型号:002-7391-08
- 序列号(Serial Number):51010
- 日期(Date):5/10/10
- 订单号(DRO#):87321
应用场景
该预对准器主要应用于半导体晶圆制造过程中的前端工艺,如光刻、沉积、蚀刻等环节前的晶圆定位,广泛适用于半导体芯片生产工厂、科研机构的半导体实验室等场景,是提升晶圆加工良率的关键设备之一。
BROOKS 布鲁克斯自动化 002-7391-08 机器人晶圆预对准器 AIXTRON

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