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HORIBA D512MG 质量流量控制器详细说明
HORIBA D512MG 是一款高精度质量流量控制器，专为工业气体流量精确控制设计，广泛应用于半导体制造、化工反应、实验室研究等对气体流量稳定性要求极高的领域。
产品特点
- 高精度控制：支持氮气（N2）流量精确控制，量程可达470SCCM（标准毫升每分钟），确保工艺过程中气体流量的稳定性与准确性。
- 可靠通信协议：配备F-NET,485 A-RJ通信协议，便于集成到工业自动化系统，实现远程监控与参数调节。
- 耐用结构设计：采用银色金属外壳，防护性能优良，适用于工业环境长期稳定运行，产品制造于日本，品质有保障。
- 灵活安装适配： inlet接口类型为H，fitting规格为4CRL，可根据实际管路需求进行便捷安装。
技术参数
- 型号：D512MG
- 品牌：HORIBA
- 气体类型：N2（氮气）
- 流量范围：470SCCM
- 阀门类型：C
- 通信协议：F-NET,485 A-RJ
- 选项配置：3023
- 制造编号：34 7617 7712 TYPE No. 000182
- 检验日期：2018年5月23日
- 产地：日本
应用场景
该质量流量控制器主要用于需要精确控制气体流量的工业流程，例如：
- 半导体晶圆制造过程中的工艺气体输送控制；
- 化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）等薄膜制备设备；
- 实验室分析仪器中的气体流量校准与控制；
- 化工反应釜的气体进料速率调节，确保反应条件稳定。
通过精准的流量控制，HORIBA D512MG 能够有效提升生产工艺的重复性与产品良率，是工业自动化领域中气体控制的理想选择。
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