3155337-000 RF Match AMAT 0190

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3155337-000 RF Match AMAT 0190

3155337-000 RF Match AMAT 0190-42282

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产品概述

AMAT 3155337-000 RF Match射频匹配器（部件号0190-42282）是一款由Advanced Energy制造的工业级射频控制设备，专为射频系统中的阻抗匹配设计，广泛应用于半导体制造、等离子处理等高精度工业场景。设备采用银色金属外壳，结构坚固，具备良好的电磁屏蔽性能，确保在复杂工业环境中稳定运行。

产品特点

双频段支持：提供60.0 MHz和13.56 MHz双射频输入接口，满足不同频率的射频信号匹配需求。
工程优化设计：外壳贴有“已由工程修改”标签，可能针对特定应用场景进行了性能调整，需注意可能与标准规格存在差异。
多重安全保护：配备高压警示（Hazardous Voltage）和非电离辐射警告（Non-Ionizing Radiation），确保操作安全。
丰富接口配置：包含Ethernet网络接口、Host Interlock控制接口、Service服务接口及Configuration配置接口，支持远程监控与参数调整。

技术参数

工作频率：60.0 MHz, 13.56 MHz
电源输入：+24 VDC
接口类型：2x RF IN（射频输入），Ethernet（以太网），Host Interlock（主机联锁），Service（服务），Configuration（配置）
制造信息：Made in China，序列号MIN: 3155337-001

应用场景

该射频匹配器主要用于需要精确控制射频能量传输的工业领域，如：

半导体晶圆制造过程中的等离子蚀刻、沉积设备
薄膜太阳能电池生产中的射频电源匹配系统
工业等离子体处理设备的阻抗调节与能量优化

注意事项

由于设备已由工程修改，可能不满足公开规格，建议在集成前与技术支持确认兼容性。操作前需确保切断电源并遵循高压安全规程，避免非电离辐射暴露。

3155337-000 RF Match AMAT 0190-42282

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