ASML光刻机RED/635激光器产品说明
本产品为ASML公司生产的光刻机专用RED/635激光器模块,型号包括IR2-FIR(编号4022.656.54072)和RED/635(编号4022.472.42583),设备标识有IR2 SLD-F,是光刻机光学系统中的关键组件。
产品特点
- 精密结构设计:采用金属外壳,提供良好的防护和稳定性,顶部设有专用固定装置,确保在光刻机内部的稳固安装。
- 多接口配置:背面配备IR2-X1和IR2-X2两个D型接口,用于信号传输与控制,同时设有FC类型防尘盖,保护光纤接口免受灰尘污染。
- 专用激光光源:支持RED/635波长激光输出,满足光刻机高精度曝光工艺对光源的严苛要求。
应用场景
主要应用于ASML系列光刻机设备,作为核心激光光源模块,为光刻过程中的晶圆曝光提供稳定、精准的光束,广泛用于半导体芯片制造领域的精密光刻工序。
技术参数
- 型号标识:IR2 SLD-F
- 接口类型:IR2-X1(D型接口)、IR2-X2(D型接口)
- 光学接口:FC类型(带防尘盖)
- 激光规格:RED/635(波长相关参数)
- 产品编号:4022.656.54072、4022.472.42583
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