产品概述
本产品为伟创(捷佳伟创)品牌扩散炉专用碳化硅浆部件,型号为03J15006200C7,属于拆机再利用产品,具备高纯度碳化硅材质,耐高温、耐腐蚀性能优异,适用于半导体制造过程中的扩散炉设备。
产品特点
- 材质优良:采用高纯度碳化硅材料,具有出色的耐高温性和化学稳定性,可适应扩散炉内高温复杂环境。
- 多种规格:提供2.26m、2.4m、2.65m、3.08m、3.17m等多种长度选择,满足不同型号扩散炉的安装需求,部分型号带有开槽设计,适配性更强。
- 拆机品质:作为拆机部件,经过严格检测确保性能完好,性价比高,适合设备维修替换使用。
应用场景
主要应用于半导体制造行业的扩散炉设备,用于承载、传输或隔离工艺材料,在硅片扩散、氧化等高温工艺中发挥关键作用,适用于捷佳伟创、红太阳、七星、拉普拉斯等品牌扩散炉机型。
技术参数
- 长度规格:2.26m, 2.4m, 2.65m, 3.08m, 3.17m
- 材质:碳化硅(SIC)
- 特性:耐高温、耐腐蚀、高硬度
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