产品概述
Applied Materials(美国应材)AMAT Producer GT蚀刻机(型号420069)是2010年1月美国制造的半导体制造关键设备,专为高精度蚀刻工艺设计,广泛应用于集成电路(IC)、晶圆制造等半导体产业领域。设备采用模块化柜体结构,集成先进的蚀刻控制技术,确保晶圆加工过程中的高稳定性和工艺精度。
技术参数
- 电源规格:三相208V,容量240A,适配工业级电力系统
- 制造信息:2010年1月美国原厂生产,符合半导体设备行业标准
- 结构设计:多柜体组合,下方配置三个独立操作单元,集成指示灯、控制按钮及工艺接口,便于实时监控与操作
产品特点
- 高精度工艺控制:搭载应材专利蚀刻技术,支持纳米级精度的材料去除,满足先进制程需求
- 稳定性优异:采用高可靠性的硬件架构和温控系统,确保长时间连续运行下的工艺一致性
- 操作便捷:独立操作单元设计,配备直观的指示灯与控制界面,简化工艺参数调节与设备维护
- 兼容性强:适配主流晶圆尺寸,可灵活集成至半导体生产线的蚀刻工艺环节
应用场景
该蚀刻机主要应用于半导体制造中的干法蚀刻或湿法蚀刻工艺,具体场景包括:
- 集成电路(IC)晶圆的图形化蚀刻,实现晶体管、互连层等结构的精确成型
- 功率半导体、MEMS(微机电系统)等器件的表面处理与结构加工
- 先进封装工艺中的蚀刻环节,支持晶圆级封装(WLP)、系统级封装(SiP)等技术
其他说明
设备支持现场看货试机,性能状态良好,适合半导体工厂生产线升级或产能扩充需求。如需进一步了解设备详细配置、运行记录及技术支持,可联系议价与咨询。
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