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MKS Type 290 290-03 离子规控制器详细说明
MKS Type 290 290-03 离子规控制器是一款专为真空系统设计的高精度测量与控制设备，适用于对真空度要求严苛的工业场景。作为二手设备，它仍具备稳定的性能和可靠的测量能力，是实验室、半导体制造、真空镀膜等领域的理想选择。
产品特点
- 高精度测量：支持从10^-8至10^-3 Torr的宽量程真空度测量，满足不同真空环境需求。
- 双设定点控制：配备两个独立设定点（SETPOINTS 1和2），可灵活设置真空度阈值，实现自动化控制。
- DEGAS功能：内置除气功能，可有效清除离子规表面吸附的气体分子，确保测量准确性。
- 本地/远程控制切换：通过前面板的“REMOTE”选择开关，可轻松切换本地手动控制与远程自动化控制模式。
- 直观显示与操作：数字显示屏实时显示真空度数值，旋钮式操作界面简洁易用，便于快速设置和监控。
应用场景
- 半导体晶圆制造过程中的真空环境监控
- 真空镀膜设备的压力控制与调节
- 实验室高真空系统的研究与测试
- 电子束焊接、离子注入等真空工艺设备
技术参数
- 测量单位：TORR
- 测量量程：10^-8 Torr 至 10^-3 Torr
- 控制功能：双设定点输出，支持阈值触发
- 特殊功能：DEGAS除气功能
- 控制模式：本地/远程切换
- 外观尺寸：约8-9英寸宽度（根据实物测量）
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